Ein Chip fürs Umwelt- und Gesundheitsmonitoring

(Bild: Technion / Laboratory for nanomaterial-based devices)

FAU-Wissenschaftler entwickeln in deutsch-israelischem Forschungsprojekt industriell herstellbare miniaturisierte Sensorsysteme

Das Projekt baut auf einer bereits erfolgreichen Kooperation auf, in der die Erlanger Wissenschaftler zusammen mit israelischen Kollegen die technologischen Ansätze dieses Projektes entwickelt haben: intelligente Sensorarrays, die komplexe Gasgemische analysieren können. Die Wissenschaftler kombinierten dafür viele Sensorelemente, die unspezifisch auf viele Moleküle reagieren – aber jedes auf eine leicht andere Art. „Durch die Gesamtheit der Reaktionen aller Sensorelemente können wir dann auf ein bestimmtes Molekül rückschließen“, erklärt PD Dr. Silke Christiansen, Mitarbeiterin von Prof. Dr. Gerd Leuchs, Lehrstuhlinhaber für Experimentalphysik (Optik) an der FAU und Direktor am Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts. Das Sensorkonzept haben die Forscher bereits erfolgreich für die Erkennung von Krebs erprobt – allerdings bisher mit einem Aufbau, der sich noch nicht für eine kostengünstige massentaugliche Herstellung eignete.

Bereits in einem früheren Projekt (www.LCaos.eu) haben die Erlanger Wissenschaftler zusammen mit ihren israelischen Kollegen intelligente Sensorarrays entwickelt, die komplexe Gasgemische analysieren können: Die eigentlichen Sensoren sind auf einem chipähnlichen Träger platziert (oben links) und die Auswertung der Gasgemische erfolgt durch den Aufbau im großen Bild und mittels weiterer, hier nicht abgebildeter Elektronik. In dem neuen Projekt CC-Sens wollen die Forscher nun solche Sensorelemente miniaturisieren und mitsamt der dafür benötigten Auswerteelektronik auf einzelne Halbleiterchips integrieren. Diese neuen und hochintegrierten Sensoren werden dabei auch noch weit mehr aktive Sensorfelder erhalten, als die alten hier abgebildeten Vorläufertypen (die acht Rechtecke auf dem „Träger“ oben links). (Bild: Technion / Laboratory for nanomaterial-based devices)

Bereits in einem früheren Projekt (www.LCaos.eu) haben die Erlanger Wissenschaftler zusammen mit ihren israelischen Kollegen intelligente Sensorarrays entwickelt, die komplexe Gasgemische analysieren können: Die eigentlichen Sensoren sind auf einem chipähnlichen Träger platziert (oben links) und die Auswertung der Gasgemische erfolgt durch den Aufbau im großen Bild und mittels weiterer, hier nicht abgebildeter Elektronik. In dem neuen Projekt CC-Sens wollen die Forscher nun solche Sensorelemente miniaturisieren und mitsamt der dafür benötigten Auswerteelektronik auf einzelne Halbleiterchips integrieren. Diese neuen und hochintegrierten Sensoren werden dabei auch noch weit mehr aktive Sensorfelder erhalten, als die alten hier abgebildeten Vorläufertypen (die acht Rechtecke auf dem „Träger“ oben links). (Bild: Technion / Laboratory for nanomaterial-based devices)

Zwei Herausforderungen: Miniaturisierung und Kompatibilität

Um ihre miniaturisierten Sensorarrays herzustellen, müssen die Forscher zwei Herausforderungen meistern. Zum einem müssen sie die drei Hauptkomponenten auf einen einzelnen Chip integrieren; die für Gase empfindlichen Sensoren, die Transistoren zur Verarbeitung der Signale und eine „künstliche Intelligenz“ in Form von neuronalen Netzen, die dann die komplexen Sensorsignalmuster verarbeiten und auswerten können. Zum anderen sind die Forscher bei der Wahl der Materialien eingeschränkt. „Um eine industrielle Massenfertigung zu gewährleisten, müssen die Sensorarrays in den bereits existierenden großen Fabrikstraßen zur industriellen Massenfertigung von Mikrochips hergestellt werden können, die auf bestimmte Herstellungsverfahren für Halbleiterbauelemente zugeschnitten sind. Um diese nutzen zu können, dürfen nur bestimmte Materialien verwendet werden, da fremde Komponenten solche Anlagen dauerhaft verunreinigen würden“, so Christiansen.

FAU: Expertin für Materialanalyse und -bearbeitung

An dem Projekt mit einem Gesamtumfang von 1,8 Millionen Euro arbeitet die FAU zusammen mit drei israelischen und einem deutschen Industriepartner: dem israelischen Halbleiterhersteller Tower Semiconductor, dem Technion in Haifa, der Tel Aviv University und dem deutschen Anlagenbauer für die Halbleiterfertigung, der Singulus Technologies AG in Kahl am Main. Die Wissenschaftler des Lehrstuhls für Experimentalphysik (Optik) bringen dabei ihr Know-how im Bereich der Materialanalyse und -bearbeitung ein. „Wir werden bei uns im Labor untersuchen, ob die verwendeten Materialien auch tatsächlich so funktionieren wie gewünscht, und wie die Herstellungsprozesse angepasst werden müssen, um korrekt funktionierende Sensorstrukturen zu erhalten“, erläutert Prof. Christiansen.

Des Weiteren werden die Wissenschaftler die verwendeten Materialien auch noch gezielt funktionalisieren: Auf die Trägerstruktur der Chips können dann zum Beispiel noch organische Moleküle für spezifische Sensoranwendungen aufgebracht werden, die für charakteristische Sensorantworten in speziellen Anwendungsfelder sorgen, beispielsweise für einen Einsatz in der Atemluft-Krebsdiagnostik oder für die Überwachung schädlicher Gase in der Umwelt oder an Arbeitsplätzen.

Weitere Informationen:

Uwe Micku
uwe.mick@fau.de